熱式氣體質量流量計是利用熱擴散原理測量氣體流量的儀表。用于監測在管道中流動的空氣、氮氣、氫氣、氧氣、氯氣、天然氣、煙道氣、沼氣和其它各種氣體質量流量的新型流量計量。熱式氣體質量流量計獨特的溫度差測量方式克服了采用恒溫差原理的熱式氣體質量流量計測量煤氣流量時因煤氣中含水、油和雜質而造成的很大的零點漂移，導致無法測量的弊端。它也可以用于測量濕氣體的質量流量，如礦井下瓦斯抽放、送風，排風系統中的風量（速）的實時檢測。